等离子体化学与新材料实验室
 
一、实验室概况
 
  武汉化工学院等离子体化学与新材料省级重点实验室始建于1996年7月，以等离子体化学与新材料为主要研究领域。实验室面积550m2，拥有等离子体刻蚀机、等离子体化学气相沉积设备、微波ECR溅射装置、微波ECR化学气相沉积装置、X射线衍射仪、红外分光光度计、磁控溅射装置等大型装置共19台套，设备总价值达861万元。实验室总编人数为19人，其中在编人数为12人，流动编制人数为8人。研究人员共25人。实验室研究人员知识结构、年龄结构、职称结构合理，在15名固定研究人员中，平均年龄为43岁，其中高级研究人员10名，博士6名，硕士9名，所从事专业涉及等离子体物理、等离子体化学、薄膜材料、化学工程、环境保护、电力及自动控制等多个领域。
 
二、研究方向及进展
 
  等离子体技术是一门多学科交叉的研究领域，除其本身外，还涉及材料学、电子学、化学、制造工艺学等，为制膜技术、化学合成、表面处理和精细化学加工等提供了崭新的手段，现已被广泛地应用于材料科学、化学化工、高分子科学及半导体工艺等领域。等离子体技术应用已成为一个具有全球性影响的重要科学领域，受到世界各国高度重视。本实验室结合我省经济发展的方向，主要研究方向包括：等离子体技术与薄膜材料、等离子体与材料的相互作用、信息功能材料微观结构及物理性能、微波材料科学与微波化学应用等。
  经过数年努力，本实验室取得的成绩主要有：
1、 等离子体电子回旋共振（ECR）技术：用于薄膜的沉积、清洗、表面改性、外延及刻蚀。该技术在制备高质量薄膜和深亚微米刻蚀方面居国内领先水平。
2、 微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）技术：制备出大面积的透明金刚石薄膜，该技术处于国内领先地位。现正与有关的企业开展刀具、光学涂层的开发应用研究。同时在平面光波导薄膜制备和纳米碳管制备等方面已进行了大量的前期工作。
3、 等离子体化学与微波技术：依托我院兼有化工类、材料类、矿类专业的特点，正在开展等离子体化学，并将微波技术与化学结合，开展了微波化学，微波选矿，微波烧结，微波萃取及固定频率微波功率源技术的研究工作。
4、 等离子体表面改性技术：在等离子体反应器的设备、高聚物的表面改性、纺织品工业的表面处理、等离子体氮化、碳化技术硬化金属表面等方面，开展了前期技术准备和探索实验工作。
5、 微波等离子体制备金刚石薄膜技术及应用开发成果申报的"十五"国家高技术产业化示范工程项目，国家计委于2001年3月正式立项，成为我省唯一一项入围国家计委新材料领域重大专项工程项目，现正在实施中。
 
三、科学研究与管理
 
  自实验室建立以来，一直依托学校多个专业致力于科学研究工作。从1998年1月至今，已开展了"特种材料金刚石薄膜制备装置及其制品的产业化"、"MWPCVD装置研制及透明金刚石薄膜制备"、"等离子体CVD金刚石薄膜刀具的工艺研究"、"等离子体对纺织品表面改性的研究"等多项研究，研究经费总额达186.5万元。发表论文50余篇，其中7篇被SCI、EI收录。
实行研究课题为导向的方针。采用研究课题竞争申请和目标考核制度；开展申请课题，自定课题的多方式研究。加强对外联系，努力实现经费的多方筹措，实现滚动运行，积极争取国家自然科学基金、科研经费，"863"高技术，省基金等多方经费支持，以及地方、厂矿、乡镇企业的横向经费支持，同时努力创收，支持实验室的建设，形成一个开放、流动、竞争的自我适应，自我发展的运行机制。
 
四、人才培养
 
  科研工作的顺利进行对人才的培养起到了极大的推动作用。自实验室建立以来，在等离子体物理、材料学、矿物加工工程、化学工艺（精细化工）等专业方向共培养博士研究生10名，其中2人毕业，培养硕士研究生30名，其中毕业17名毕业。
 
五、研究方向
 
●等离子体技术与薄膜材料
●等离子体与材料的相互作用
●信息功能材料微观结构及物理性能
●微波材料科学与微波化学应用
六、正在研究的课题：
 
● 金刚石刀具涂层
●金刚石光学涂层
●平面光波导薄膜与器件
●纳米碳管及其它纳米材料
●高聚物及纺织品表面改性
●等离子体反应器的设计
●大功率微波源的制备
●微波选矿、烧结、萃取
 
七、发展目标
 
●尽快形成科研特色和优势，具备较强的承担国家和有关部门的重点研究开发任务的能力；
●力争承担较多的国家重大科研任务，注重技术的可靠性、经济性和社会性，并在国内外权威杂志上发表一定数量的高水平文章；
●我省等离子体技术与材料和应用的研究开发、人才培养、学术交流和高新技术推广的中心；
●省级乃至国家级等离子体技术与材料应用和研究开发基地之一；
●面向市场，推动等离子体技术及应用成果的商品化和产业化。
 
微波等离子体化学与新材料湖北省级重点实验室
地址：湖北省武汉市洪山区卓刀泉路366号
邮编：430073
E-mail：zhang770201@sina.com
实验室主任：汪建华 副主任：马志斌
电话：027-87495661 传真：87801310